Badania prowadzone w ITR w dziedzinie techniki próżni są kontynuacją badań Przemysłowego Instytutu Elektroniki, który był jednym z najważniejszym w kraju ośrodków opracowujących i wytwarzających nowoczesne podzespoły oraz urządzenia wysokiej próżni. Interdyscyplinarna tematyka badawcza Instytutu w dziedzinie techniki próżni koncentruje się obecnie na badaniach związanych z komorami próżniowymi, technologią elektronowiązkową, spektrometrami mas oraz technologią warstw kompozytowych.
