Interdyscyplinarna tematyka badawcza Instytutu w dziedzinie techniki próżni koncentruje się obecnie na badaniach związanych z komorami próżniowymi, technologią elektronowiązkową, spektrometrami mas oraz technologią warstw kompozytowych.
Zastosowanie próżni jako izolatora wewnętrznego o wysokiej wytrzymałości napięciowej jest najistotniejszą cechą próżniowych komór gaszeniowych. Technologia próżniowa opracowywana w Instytucie zastosowana w komorach gaszeniowych, gwarantuje całkowite odizolowanie łuku elektrycznego od środowiska oraz brak produktów rozkładu ośrodka gaszącego łuk.
W badaniach związanych z technologią elektronowiązkową Instytut ma bogate doświadczenia zarówno w budowie urządzeń jak i opracowywaniu technologii związanych głównie ze spawaniem w próżni wiązką elektronów. Realizowane są badania nad nowym sposobem odchylania wiązki, który zapewni duży zakres częstotliwości i amplitudy odchylania oraz metodami pozwalającymi utrzymać jednakowe warunki emisji elektronów przez cały okres pracy katody.
O rozwoju techniki próżni w Instytucie świadczą również innowacyjne rozwiązania związane ze spektrometrią mas. W Instytucie opracowywane są i budowane spektrometry mas przeznaczone do analizy składu pierwiastkowego gazów rozrzedzonych, analizy powierzchni ciała stałego oraz analizy profilowej struktur warstwowych z rozdzielczością głębokościową poniżej jednego nanometra.
